AgGaTe2太陽電池作製に向けたMo/Cr電極構造の開発

カテゴリ: 全国大会

論文No: 2-092

グループ名: 【全国大会】平成30年電気学会全国大会論文集

発行日: 2018/03/05

タイトル：AgGaTe₂太陽電池作製に向けたMo/Cr電極構造の開発

タイトル(英語): The development of Mo/Cr electrode structure for AgGaTe₂ solar cells

著者名: 吉野 文也(早稲田大学),宇留野 彩(早稲田大学),桜川 陽平(早稲田大学),小林 正和(早稲田大学)

著者名(英語): Fumiya Yoshino(Waseda University),Aya Uruno(Waseda University),Yohei Sakurakawa(Waseda University),Kobayshi Masakazu(Waseda University)

キーワード: 太陽電池,カルコパイライト化合物,化合物半導体,裏面電極

要約(日本語): AgGaTe₂太陽電池の電極としてMo/Cr構造に着目し、石英ガラス基板上にRFマグネトロンスパッタで作製している。しかしAgGaTe₂は約800℃の高温で作製するため電極構造の剥離が生じてしまった。放電時のAr圧力は、堆積時の粒径等の膜質に大きく影響を与えることが知られているため、本研究では様々なAr圧力でCr中間層を作製し、Mo/Cr電極構造の石英ガラスへの密着性に与える影響について検討した。その結果、Cr中間層を7Paで作製することでAg₂Te堆積後における電極構造と石英ガラス基板間の密着性が高くなることが明らかとなった。また得られたCr層の断面SEM像を観察した結果、スパッタ時の粒径や粗密度が密着性に大きく影響を与えていることが明らかとなった。

原稿種別: 日本語

PDFファイルサイズ: 1,068 Kバイト