非金属基板上に成膜したR(Nd or Pr)-Fe-B系磁石膜の磁気特性

カテゴリ: 全国大会

論文No: 2-105

グループ名: 【全国大会】平成30年電気学会全国大会論文集

発行日: 2018/03/05

タイトル(英語): Magnetic properties of R(Nd or Pr)-Fe-B film magnets deposited on non-metal substrates

著者名: 竹市 蕉(長崎大学),尾本 昌隆(長崎大学),山下 昂洋(長崎大学),柳井 武志(長崎大学),中野 正基(長崎大学),福永 博俊(長崎大学)

著者名(英語): Sho Takeichi(Nagasaki University),Masataka Omoto(Nagasaki University),Akihiro Yamashita(Nagasaki University),Takeshi Yanai(Nagasaki University),Masaki Nakano(Nagasaki University),Hirotoshi Fukunaga(Nagasaki University)

キーワード: PLD法,Nd,Pr,ガラス基板

要約(日本語): Si基板やガラス基板上へのスパッタリング法を用いた磁石膜の作製が，MEMSへの磁石膜の応用を考慮し進められている。スパッタリング法では厚みが20 μm程度にとどまり，磁石膜外部へより大きな磁界を供給するには，更なる膜厚増加が望まれる。本研究では，数10 ?m/hの成膜速度を持つPLD法を用い，テンパックスガラス基板上に等方性のNd-Fe-B系あるいはPr-Fe-B系磁石膜を各々成膜した際，Nd, Pr含有量が，熱処理後の磁気特性や試料の破壊現象に及ぼす影響を検討した。その結果，化学量論組成に比べ希土類含有量を増やした領域において，Nd-Fe-B系とPr-Fe-B系磁石膜に関し，Pr含有量がNdよりも低減でき，ガラス基板上に(BH)max70 kJ/m3程度の100 μm厚Pr-Fe-B系磁石膜が得られたことを報告する。

原稿種別: 日本語

PDFファイルサイズ: 359 Kバイト