塗布型粘土絶縁膜を用いたCr-N薄膜ひずみセンサ

カテゴリ: 全国大会

論文No: 3-144

グループ名: 【全国大会】平成30年電気学会全国大会論文集

発行日: 2018/03/05

タイトル(英語): Cr-N thin film strain sensors using coating type clay insulating layer

著者名: 丹羽 英二(電磁材料研究所),林 晋也(イチネンケミカルズ),須貝 一郎(イチネンケミカルズ),野口 幸紀(イチネンケミカルズ)

著者名(英語): Eiji Niwa(Research Institute for Electromagnetic Materials),Shinya Hayashi(ICHINEN CHEMICALS Co.,Ltd.),Ichirou Sugai(ICHINEN CHEMICALS Co.,Ltd.),Yukinori Noguchi(ICHINEN CHEMICALS Co.,Ltd.)

キーワード: 絶縁膜,粘土,Cr-N薄膜,ひずみセンサ

要約(日本語): 高い耐熱性、密着性、ガスバリア性ならびに基材追従性を示す金属用粘土コーティング剤「クレコート」を用いて新規無機系塗布型粘土絶縁膜の開発を行い、良好な絶縁性を確認するとともに、金属起歪体上にその絶縁膜を用いたCr-N薄膜ひずみセンサを試作し、安定なひずみ計測が可能であることを明らかにした。その絶縁膜は、簡便に形成できる低価格な絶縁膜として有望と考えられる。

原稿種別: 日本語

PDFファイルサイズ: 689 Kバイト