触覚熱流センサのための薄膜サーミスタ作製

カテゴリ: 全国大会

論文No: 3-147

グループ名: 【全国大会】平成30年電気学会全国大会論文集

発行日: 2018/03/05

タイトル(英語): Production of Thin Film Thermistor for Tactile Heat Flow Sensor

著者名: 菅沼 雄介(名城大学),大橋 祐也(名城大学),佐々木 実(豊田工業大学),野々村 裕(名城大学)

著者名(英語): Yusuke Suganuma(Meijo University),Yuya Ohashi(Meijo University),Minoru Sasaki(Toyota Technological Institute),Yutaka Nonomura(Meijo University)

キーワード: ロボット,触覚,熱流,温熱感,薄膜,サーミスタ

要約(日本語): アシスタントロボットには触れたものの識別、人間との触れ合いを含めたコミュニケーション能力が求められる。触覚に温熱感を導入することで、接触材料推定が可能となる。温熱感を実現するためには熱流を測定する必要がある。そこで、温度差を能動的に発生させる薄膜ヒータと薄膜サーミスタを合わせた熱流センサを提案する。この熱流センサのためにAl-Ti-N系薄膜サーミスタを反応性スパッタリングにより成膜した。膜厚500nm、N2比率10%、成膜温度250℃で得られた赤褐色膜を熱処理し、B定数500Kのサーミスタ膜が作製できた。薄膜サーミスタの感度と膜の安定性を向上させ、薄膜ヒータと薄膜サーミスタを一体化した薄膜熱流センサの実現を目指す。

原稿種別: 日本語

PDFファイルサイズ: 844 Kバイト