ゾル・ゲルPZT薄膜の製膜熱処理工程が圧電MEMS超音波センサの感度に与える影響

カテゴリ: 全国大会

論文No: 3-153

グループ名: 【全国大会】平成30年電気学会全国大会論文集

発行日: 2018/03/05

タイトル(英語): Influences to sensitivity of piezoelectric MEMS ultrasonic sensors of sol-gel PZT films under various thermal processes.

著者名: 中島 将太(京都工芸繊維大学),塩見 丈(京都工芸繊維大学),山下 馨(京都工芸繊維大学),野田 実(京都工芸繊維大学)

著者名(英語): Shota Nakajima(Kyoto Institute of Technology),Jo Shiomi(Kyoto Institute of Technology),Kaoru Yamashita(Kyoto Institute of Technology),Minoru Noda(Kyoto Institute of Technology)

キーワード: PZT,ゾル・ゲル,配向性,超音波センサ,感度

要約(日本語): 我々は空中超音波での3次元計測を目指して圧電MEMSダイアフラム型超音波センサを開発している。これまでに静的撓みをもつダイアフラムの撓み量が大きいほど高感度となることを明らかにし，ゾル・ゲルPZTの熱処理条件によってダイアフラムの撓みが変化することを報告してきた。今回はゾル・ゲルPZT製膜時の熱処理条件がセンサ感度に与える影響を評価した。その結果，仮焼成温度によりPZT膜の配向性が変化し，これによりダイアフラムの撓み量が変化することによって高感度化が可能であることが示された。

原稿種別: 日本語

PDFファイルサイズ: 414 Kバイト