圧電マイクロ超音波センサ高感度化のための座屈ダイアフラムが出力波形に与える影響

カテゴリ: 全国大会

論文No: 3-154

グループ名: 【全国大会】平成30年電気学会全国大会論文集

発行日: 2018/03/05

タイトル(英語): Influences of buckled diaphragms to output waveforms of piezoelectric ultrasonic microsensors

著者名: 西岡 知記(京都工芸繊維大学),中島 将太(京都工芸繊維大学),山下 馨(京都工芸繊維大学),野田 実(京都工芸繊維大学)

著者名(英語): Tomoki Nishioka(Kyoto Institute of Technology),Shota Nakajima(Kyoto Institute of Technology),Kaoru Yamashita(Kyoto Institute of Technology),Minoru Noda(Kyoto Institute of Technology)

キーワード: 超音波センサ,ダイアフラム,振動モード,座屈,圧電応答

要約(日本語): 圧電ダイアフラム型超音波センサを高感度化するために導入している座屈による静的撓みがセンサ出力に与える影響を評価した。正方形ダイアフラム，円形ダイアフラムともに撓み量が大きくなると単一の振動モードが支配的に現れた。しかし撓みの大きい正方形センサでは出力スペクトルにおいて，2つの大きなピークが現れ出力波形にうなりが生じた。一方，撓みの大きな円形センサでは出力スペクトルにおいて，単一のピークのみが出現した。以上より，撓み量の大きい円形センサでは単一の振動モードのみが出力に寄与するため出力電圧波形のうなりが消失しセンサ特性が向上する可能性が示唆された。

原稿種別: 日本語

PDFファイルサイズ: 847 Kバイト