単一Au錘3軸差動MEMS加速度センサの検討

カテゴリ: 全国大会

論文No: 3-158

グループ名: 【全国大会】平成30年電気学会全国大会論文集

発行日: 2018/03/05

タイトル(英語): A Tri-axis Differential MEMS Accelerometer with a Single Au Proof Mass

著者名: 新島 宏文(東京工業大学),乙部 翔太(東京工業大学),高安 基大(東京工業大学),山根 大輔(東京工業大学),伊藤 浩之(東京工業大学),道正 志郎(東京工業大学),石原 昇(東京工業大学),町田 克之(東京工業大学),益 一哉(東京工業大学),小西 敏文(NTTアドバンステクノロジ)

著者名(英語): Hirofumi Niijima(Tokyo Institute of Technology),Shota Otobe(Tokyo Institute of Technology),Motohiro Takayasu(Tokyo Institute of Technology),Daisuke Yamane(Tokyo Institute of Technology),Ito Hiroyuki(Tokyo Institute of Technology),Shiro Dosho(Tokyo Institute of Technology),Noboru Ishihara(Tokyo Institute of Technology),Katsuyuki Machida(Tokyo Institute of Technology),Kazuya Masu(Tokyo Institute of Technology),Toshifumi Konishi(NTT Advanced Technology Corp)

キーワード: Au錘,3軸,差動,MEMS加速度センサ,Brownian Noise,積層メタル構造

要約(日本語): Microelectromechanical Systems（MEMS）加速度センサの高感度化により、難病の早期発見や宇宙環境における加速度検出などの新規分野への応用が期待されている。今回、MEMS加速度センサの更なる高感度化のため、単一Au錘を用いた3軸差動MEMS加速度センサを提案した。提案したデバイス構造は、積層メタル構造により、X、Y、Z全軸で差動検出を可能とした。また、提案したデバイス構造のBrownian Noise（B_N）を実験的に評価した結果、X、Y、Z全軸で100 nG/√Hz以下であり、従来のMEMS加速度センサと比較し、3桁のノイズ低減を確認した。以上より、3軸MEMS加速度センサ高感度化の実現見通しを得た。

原稿種別: 日本語

PDFファイルサイズ: 395 Kバイト