傾斜を用いた1mG MEMS加速度センサの分解能評価の検討

カテゴリ: 全国大会

論文No: 3-167

グループ名: 【全国大会】平成30年電気学会全国大会論文集

発行日: 2018/03/05

タイトル(英語): Study on Resolution Evaluation Using Tilt for 1-mG MEMS Accelerometer

著者名: 高安 基大(東京工業大学),古賀 達也(東京工業大学),辻 一平(東京工業大学),伊藤 浩之(東京工業大学),山根 大輔(東京工業大学),道正 志郎(東京工業大学),小西 敏文(NTTアドバンステクノロジ),石原 昇(東京工業大学),町田 克之(東京工業大学),益 一哉(東京工業大学)

著者名(英語): Motohiro Takayasu(Tokyo Institute of Technology),Tasuya Koga(Tokyo Institute of Technology),Ippei Tsuji(Tokyo Institute of Technology),Hiroyuki Ito(Tokyo Institute of Technology),Daisuke Yamane(Tokyo Institute of Technology),Shiro Dosho(Tokyo Institute of Technology),Toshifumi Konishi(NTT Advanced Technology Corporation),Noboru Ishihara(Tokyo Institute of Technology),Katsuyuki Machida(Tokyo Institute of Technology),Kazuya Masu(Tokyo Institute of Technology)

キーワード: 傾斜,MEMS加速度センサ,分解能評価

要約(日本語): Microelectromechanical systems (MEMS) 加速度センサの分解能は、加振機を用いて評価される。加振機が印加できる加速度は通常10 mG (1 G = 9.8 m/s²)以上であるため、1 mG以下の加速度による評価は困難である。そこで本研究では、傾斜による評価に着目し、1 mG以下の分解能を有するMEMS加速度センサに対して本方法により性能を評価した。傾斜による評価系を提案し、1 mG以下の加速度を印加できることを理論的に解析した。提案した評価系にMEMS加速度センサを設置して1 mG以下の加速度を印加し測定した時、MEMS加速度センサの容量が変化し、加速度を検知していることを確認した。傾斜を用いた評価系により、MEMS加速度センサに1 mG以下の加速度を印加し、分解能を評価できることを示した。

原稿種別: 日本語

PDFファイルサイズ: 475 Kバイト