フッ素エラストマを用いたMEMS触覚センサの耐水性向上

カテゴリ: 全国大会

論文No: 3-174

グループ名: 【全国大会】平成30年電気学会全国大会論文集

発行日: 2018/03/05

タイトル(英語): Improvement of Water Proofness of MEMS Tactile Sensor Using Fluoroelastomer

著者名: 佐藤 周平(新潟大学),安部 隆(新潟大学),寒川 雅之(新潟大学)

著者名(英語): Shuhei Sato(Niigata University),Takashi Abe(Niigata University),Masayuki Sohgawa(Niigata University)

キーワード: 触覚センサ,耐水性,フッ素エラストマ

要約(日本語): 本研究では、MEMS触覚センサの液中および湿潤状態での使用へ向けてセンサの耐水性の向上を目指した。従来から用いていたPDMSと耐水性に優れるフッ素エラストマを用いたセンサをそれぞれ作製し、浸漬時における荷重印加試験を行い、結果を比較した。その結果、PDMSでは浸漬時に大きなノイズが見られたのに対して、フッ素エラストマでは浸漬前後でのセンサ応答に大きな変化が見られなかった。PDMSで見られたノイズは水の透過によって起った短絡が原因と考えられるがフッ素エラストマを用いた場合ではこのようなノイズが一切見られず、センサの耐水性が向上したといえる。これにより液中や湿潤環境での本センサでの測定が可能となり、本センサの様々な環境での応用が期待できる。

原稿種別: 日本語

PDFファイルサイズ: 408 Kバイト