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大気圧グロー放電プラズマのラングミュアプローブ計測

大気圧グロー放電プラズマのラングミュアプローブ計測

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カテゴリ: 全国大会

論文No: 1-060

グループ名: 【全国大会】平成31年電気学会全国大会論文集

発行日: 2019/03/01

タイトル(英語): Langmuir Probe Measurement for Atmospheric Glow Discharge Plasma

著者名: 牟田 浩司(近畿大学),大石 亮(近畿大学),石橋 凌(近畿大学),内原 光之助(近畿大学),中村 隆昌(近畿大学),土内 裕太郎(近畿大学)

著者名(英語): Hiroshi Muta(Kindai University),Ryo Oishi(Kindai University),Ryo Ishibashi(Kindai University),Konosuke Uchihara(Kindai University),Takamasa Nakamura(Kindai University),Yutaro Tsuchiuchi(Kindai University)

キーワード: 大気圧グロー放電,ラングミュアプローブ,数値シミュレーション

要約(日本語): 本研究では、大気圧グロー放電プラズマ中に挿入したラングミュアプローブの挙動を流体方程式に基づく数値シミュレーションし、算出されたVI曲線を測定から得られるVI曲線にフィッティングすることでプラズマパラメータを算出する。本手法ではデータ処理に要する時間が懸念されるが、数値解析モデルを必要最小化することで、実用的な時間で計測可能なシステムを目指している。これにより許容精度を有する実用的な大気圧プラズマ用プローブ計測システムの構築を目標とする。

原稿種別: 日本語

PDFファイルサイズ: 327 Kバイト

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