対向発散磁界下誘導結合プラズマ中の電子閉じ込め効果に対するシースの影響の定性的検討

カテゴリ: 全国大会

論文No: 1-065

グループ名: 【全国大会】平成31年電気学会全国大会論文集

発行日: 2019/03/01

タイトル(英語): Qualitative Investigation of Influence of Sheath on Electron Confinement Effect in an Inductively Coupled Plasma under Confronting Divergent Magnetic Fields

著者名: 小澤 良輔(北海道大学),菅原 広剛(北海道大学)

著者名(英語): Ryosuke Ozawa(Hokkaido University),Hirotake Sugawara(Hokkaido University)

キーワード: 誘導結合プラズマ,対向発散磁界,分界面,電子閉じ込め効果,モンテカルロ法,シース

要約(日本語): 誘導結合磁化プラズマの一種であるX点プラズマは容器内に対向発散磁界を形成し、電子閉じ込め効果を示す。励起源アンテナ側上部領域では電子数密度が高く維持され、下部拡散領域では低エネルギー電子が付着等の反応により負イオンを多く生成すると期待される。本報では電子閉じ込め効果へのシースの定性的影響を調べるため、上部領域における電子数の電離衝突による増加と閉じ込めからの脱出による減少を含めた実効電子増加率の依存性を観察した。シース厚さを5mm一定とし0、12、24、36、48Vの電位差を与えて解析した結果、シースの有無による電子閉じ込め効果の差は目立たず、定性的議論の本質を大きく変えるものではないことが示唆された。

原稿種別: 日本語

PDFファイルサイズ: 510 Kバイト