誘導結合型磁化プラズマ容器器壁近傍における電子エネルギー利得の位相分解モンテカルロ解析

カテゴリ: 全国大会

論文No: 1-066

グループ名: 【全国大会】平成31年電気学会全国大会論文集

発行日: 2019/03/01

タイトル(英語): Phase-Resolved Monte Carlo Analysis on Electron Energy Gain near Chamber wall of Inductively Coupled Magnetized Plasmas

著者名: 高橋 宏徳(北海道大学),菅原 広剛(北海道大学)

著者名(英語): Hironori Takahashi(Hokkaido University),Hirotake Sugawara(Hokkaido University)

キーワード: 磁化プラズマ,モンテカルロシミュレーション,シース電界,エネルギー利得

要約(日本語): 誘導結合型磁化プラズマの一種であるX点プラズマは、低圧下で高密度プラズマを維持する上、容器内に形成される対向発散磁界による電子閉じ込め効果を有し、リモートプラズマ省空間化への応用が提案されている。既報では、容器側壁近傍の電磁界下で電子ドリフトが生じることで電子加速と減速がrf電界位相に依存しその加速／減速量が偏る機構が解明された。本研究ではその加速／減速の内訳を定量的に議論するため、rf周期を前後半に分け電子エネルギー利得と電子滞在時間に対応する利得サンプリング回数の空間分布を解析した。またシース電界とrf電界による利得を各々区別し利得の要因を明らかにした。結果、当該利得機構を定量的に確かめられた。

原稿種別: 日本語

PDFファイルサイズ: 356 Kバイト