交流電界・直流磁界下気体中の電子輸送係数解析

カテゴリ: 全国大会

論文No: 1-067

グループ名: 【全国大会】平成31年電気学会全国大会論文集

発行日: 2019/03/01

タイトル(英語): Analysis of Electron Transport Parameters in Gas under RF Electric and DC Magnetic Fields

著者名: 佐藤 壮(北海道大学),菅原 広剛(北海道大学)

著者名(英語): Takeshi Sato(Hokkaido University),Hirotake Sugawara(Hokkaido University)

キーワード: 交流電界,電子輸送係数,モンテカルロ法,磁化プラズマ

要約(日本語): 13.56MHzの交流電界と直流磁界の下で駆動する誘導結合磁化プラズマの一種であるX点プラズマの構造と動特性理解のため交流電界・直流磁界下の電子輸送解析を行い、電子平均エネルギー、衝突周波数、ドリフト速度、拡散係数を算出した。ドリフト速度と拡散係数については方向成分ごとに算出した。磁界強度の解析範囲には、X点プラズマで高いエネルギー利得が報告されている部分共鳴が起こる共鳴磁界強度を含めた。電子平均エネルギーや衝突周波数とともにドリフト速度の周期変化も共鳴磁界強度付近において絶対値最大となった。実機の複雑な電磁界における電子輸送を理解する上で比較の基準として有用と考えられる基礎特性が観察された。

原稿種別: 日本語

PDFファイルサイズ: 337 Kバイト