準大気圧下における高繰り返しナノ秒パルス窒素グロー放電の特性評価

カテゴリ: 全国大会

論文No: 1-072

グループ名: 【全国大会】平成31年電気学会全国大会論文集

発行日: 2019/03/01

タイトル(英語): Characterization of high-repetition nanosecond pulsed nitrogen glow discharges under sub-atmospheric pressure

著者名: 平野 涼(兵庫県立大学),井岡 克也(兵庫県立大学),前川 拓也(兵庫県立大学),菊池 祐介(兵庫県立大学),大坪 陽(栗田製作所),西村 芳実(栗田製作所),八束 充保(兵庫県立大学)

著者名(英語): Ryo Hirano(University of Hyogo),Katsuya Ioka(University of Hyogo),Takuya Maegawa(University of Hyogo),Yusuke Kikuchi(University of Hyogo),Akira Otsubo(Kurita Manufacturing),Yoshimi Nishimura(Kurita Manufacturing),Mitsuyasu Yatsuzuka(University of Hyogo)

キーワード: 準大気圧,高繰り返し,窒素パルスグロー放電プラズマ

要約(日本語): ナノ秒パルス電源を用いたグロー放電生成技術によって，大気圧／準大気圧下において一様な非平衡プラズマを生成する研究が行われている。従来使われていたナノ秒パルス電源の繰り返し周波数はkHzオーダーであったが，近年開発されたSiC-MOSFETをスイッチング素子に用いることで，繰り返し周波数を数百kHzまで上昇させることが可能となった。これによって，プラズマプロセス速度を高めることが期待される一方で，高繰り返し化によってパルス放電特性がどのように変化するかは未解明である。そこで本研究では，放電ガスに窒素を用いて，ガス圧力や周波数を変化させたときの放電特性を調査した。

原稿種別: 日本語

PDFファイルサイズ: 297 Kバイト