RFマグネトロンプラズマ法による窒化鉄生成の試み

カテゴリ: 全国大会

論文No: 1-081

グループ名: 【全国大会】平成31年電気学会全国大会論文集

発行日: 2019/03/01

タイトル(英語): Attempt of Formation of Iron Nitrides by RF Magnetron Plasma Method.

著者名: 矢澤 翔大(日本大学),石原 聖久(日本大学),江頭 雅之(日本大学),工藤 祐輔(日本大学),黒岩 孝(日本大学),新妻 清純(日本大学)

著者名(英語): Shota Yazawa(Nihon University),Akihisa Ishihara(Nihon University),Masayuki Egashira(Nihon University),Yusuke Kudo(Nihon University),Takashi Kuroiwa(Nihon University),Kiyozumi Niizuma(Nihon University)

キーワード: プラズマ処理,窒化処理,表面処理

要約(日本語): 金属は表面処理を行うことにより耐摩耗性，耐食性，防錆性，濡れ性等が向上することが知られている。様々な表面処理方法からプラズマ窒化処理に注目した。本研究室ではDCプラズマ装置を改良しプラズマの電子密度を高めるためプラズマ処理部のカソード電極の下に磁石を配置したDCマグネトロンプラズマ処理を行ってきたが，プラズマ処理部に試料を多数設置するとプラズマが点火しないことやプラズマ処理中にプラズマが安定しないといった課題があった。そこで，DCプラズマ装置と同様にプラズマ処理部に磁石を配置したRFマグネトロンプラズマ装置を用いることで鉄箔への窒化処理を試みた。本研究ではプラズマ入力電力を変化させ検討した。

原稿種別: 日本語

PDFファイルサイズ: 667 Kバイト