大気圧プラズマ窒化処理における還元フェーズ時間依存性の調査

カテゴリ: 全国大会

論文No: 1-083

グループ名: 【全国大会】平成31年電気学会全国大会論文集

発行日: 2019/03/01

タイトル(英語): Investigation of reduction-phase time dependence on atmospheric pressure plasma nitriding

著者名: 大谷 亮仁(大分大学),市來 龍大(大分大学),中原 弘将(大分大学),西口 宏泰(大分大学),立花 孝介(大分大学),古木 貴志(大分大学),金澤 誠司(大分大学)

著者名(英語): Ryoto Otani(Oita University),Ryuta Ichiki(Oita University),Kosuke Nakahara(Oita University),Hiroyasu Nishiguchi(Oita University),Kosuke Tachibana(Oita University),Takashi Furuki(Oita University),Seiji Kanazawa(Oita University)

キーワード: プラズマ窒化,大気圧プラズマ,ステンレス鋼,不動態被膜

要約(日本語): ステンレス鋼を大気圧プラズマジェットを用いて窒化する上で、不動態被膜を還元する必要があり、窒素動作ガスに水素を導入すると試料に窒素が拡散される。そこで、導入水素ガスを増加させ、処理する試料の還元を目的とした還元フェーズと、試料の窒化を目的とした窒化フェーズの2段階の処理を行うことで従来の窒化フェーズのみの処理よりも膜厚を増加できるのではないかと考えた。そこで、今回は還元フェーズ時間依存性を調査した。還元フェーズ時間0 min~15 minでは時間の増加とともに膜厚が減少した。逆に、15 min~45 minでは、還元フェーズ時間の増加に伴い膜厚が増加した。この結果は、不動態被膜の還元の状況及び窒化フェーズ時間の増減が関係していると考えられる。

原稿種別: 日本語

PDFファイルサイズ: 571 Kバイト