He/O2狭ギャップ短パルス大気圧非平衡プラズマの発光スペクトルと高分子表面処理特性

カテゴリ: 全国大会

論文No: 1-088

グループ名: 【全国大会】平成31年電気学会全国大会論文集

発行日: 2019/03/01

タイトル：He/O₂狭ギャップ短パルス大気圧非平衡プラズマの発光スペクトルと高分子表面処理特性

タイトル(英語): Optical Emission Spectra and Polymer Surface Treatment Characteristics of Narrow-gap, Short-pulse Non-equilibrium Plasma through He/O₂ Mixture at Atmospheric Pressure

著者名: 古田 憲司郎(防衛大学校),中野 俊樹(防衛大学校),北嶋 武(防衛大学校)

著者名(英語): Kenshiro Furuta(National Defence Academy),Toshiki Nakano(National Defence Academy),Takeshi Kitajima(National Defence Academy)

キーワード: 大気圧非平衡プラズマ,狭ギャップ,発光スペクトル,O原子密度,表面処理,短パルス

要約(日本語): 本研究ではHe/O₂狭ギャップ短パルス大気圧非平衡プラズマのO数密度のO₂混合比依存性を推測し、ポリエチレンテレフタレート（PET）のプラズマ表面処理特性との関連性を検討した。プラズマ発光スペクトルは分光器と光子計数システムを用いて取得し、処理表面の特性は、接触角から算出した表面エネルギーの分散力成分と極性力成分から評価した。発光スペクトル強度から、O₂混合比が5%から20%に増加すると、Oの数密度が約1.8倍に増加することがわかった。処理表面の特性は、O₂混合比を20%に増加すると、極性力成分は増加して、分散力成分は減少する傾向が見られた。これらの結果から、極性力成分上昇の要因はOの数密度の増加である可能性が高い。

原稿種別: 日本語

PDFファイルサイズ: 462 Kバイト