ナノカーボンを用いた高感度ガスセンサの開発

カテゴリ: 全国大会

論文No: 2-083

グループ名: 【全国大会】平成31年電気学会全国大会論文集

発行日: 2019/03/01

タイトル(英語): Fabrication of highly sensitive gas sensors with carbon nanotubes and graphene based thin films

著者名: 伊東 栄次(信州大学),杉浦 弘晃(信州大学),畑山 誠(信州大学),高野 晃佑(信州大学),小野 博信(日本触媒),郷田 隼(日本触媒)

著者名(英語): Eiji Itoh (Shinshu University),Hiroaki Sugiura(Shinshu University), Makoto Hatayama (Shinshu University),Kosuke Takano(Shinshu University), Hironobu Ono (Nippon Shokubai Co. Ltd.),Shun Goda(Nippon Shokubai Co. Ltd.)

キーワード: 湿度センサ,アセトン,グラフェン,カーボンナノチューブ,ポリイミド

要約(日本語): 本研究では，カーボンナノチューブ(CNT)ガス透過性電極を用いた10ms台応答の超高速湿度センサと交互吸着法を用いて1層ずつ製膜した還元型酸化グラフェン膜(rGO)を用いた高感度アセトンセンサの応答を調べた。また，これらのセンサを併用して湿度共存下でのアセトン等の高感度検出の可能性について検討を行った。rGO膜は0.1 ppm以下の高い分解能がある。応答時間についてはガス置換時間と同程度の4秒前後の素早い応答成分と数10秒かけて緩やかに応答する成分が存在し，室温で高速化が期待できる。また、湿度センサは0～100%RHで静電容量が直線的に変化しその時間は50ms前後と極めて速くリアルタイムで湿度補正や正確な測定が可能である。

原稿種別: 日本語

PDFファイルサイズ: 330 Kバイト