金属配線の曲げおよび伸張特性に対する結晶子サイズの影響

カテゴリ: 全国大会

論文No: 2-096

グループ名: 【全国大会】平成31年電気学会全国大会論文集

発行日: 2019/03/01

タイトル(英語): The contribution of the crystallite size for bending and stretching of Cu wiring

著者名: 稲吉 真一(日本航空電子工業),大西 賢(日本航空電子工業),松尾 幸祐(日本航空電子工業),吉良 敦史(日本航空電子工業),中島 伸一郎(日本航空電子工業)

著者名(英語): Shinichi Inayoshi(Japan Aviation Electronics Ind. Ltd.),Ken Onishi(Japan Aviation Electronics Ind. Ltd.),Kosuke Matsuo(Japan Aviation Electronics Ind. Ltd.),Atsushi Kira(Japan Aviation Electronics Ind. Ltd.),Shin-ichiro Nakajima(Japan Aviation Electronics Ind. Ltd.)

キーワード: ウェアラブルデバイス,フレキシブル配線,結晶子サイズ,曲げ特性,伸長特性

要約(日本語): IoT（Internet of Things）により、ヒトを含めたあらゆるモノがつながり、共有化された多様な情報を基に幅広い仕組みがスマート化されることが期待されている。ウェアラブルデバイスは、ヒトの活動や生体情報を取得し先制医療への活用が期待されており、用いられる配線においてもフレキシブル性が要求される。例えばカーボンナノチューブを用いたフレキシブル配線技術などが提案されているが、一般的な金属配線に比べ抵抗率が高い。そこで、本稿では低抵抗な金属薄膜を用いたフレキシブル配線技術を確立することを目的とし、結晶子サイズが曲げおよび伸張特性に与える影響を調査した結果、結晶子サイズが大きいほど曲げおよび伸張特性が高いことが示された。

原稿種別: 日本語

PDFファイルサイズ: 419 Kバイト