スパッタリング法による混合粉体ターゲットを用いた透明導電性膜の作製

カテゴリ: 全国大会

論文No: 2-097

グループ名: 【全国大会】平成31年電気学会全国大会論文集

発行日: 2019/03/01

タイトル(英語): Preparation of Transparent Conductive Film Using Mixed Powder Target by Sputtering Method

著者名: 大島 多美子(佐世保工業高等専門学校),中村 将樹(佐世保工業高等専門学校),山戸 洋弥(佐世保工業高等専門学校),久保川 将也(佐世保工業高等専門学校),川崎 仁晴(佐世保工業高等専門学校),篠原 正典(佐世保工業高等専門学校),柳生 義人(佐世保工業高等専門学校),猪原 武士(佐世保工業高等専門学校),須田 義昭(石川工業高等専門学校)

著者名(英語): Tamiko Ohshima(National College of Technology, Sasebo College),Masaki Nakamura(National College of Technology, Sasebo College), Hiroya Yamato(National College of Technology, Sasebo College),Masaya Kubokawa(National College of Technology, Sasebo College),Hiroharu Kawasaki(National College of Technology, Sasebo College),Masanori Shinohara(National College of Technology, Sasebo College),Yoshihito Yagyu(National College of Technology, Sasebo College),Takeshi Ihara(National College of Technology, Sasebo College),Yoshiaki Suda(National College of Technology, Ishikawa College)

キーワード: 透明導電膜,スパッタリング,粉体ターゲット

要約(日本語): スマートフォンやタブレット端末のタッチパネルなどに使用されるITO透明電極の代替材料として、AlドープZnO(AZO)やGaドープZnO(GZO)の薄膜作製に関する研究を行った。通常の固体ターゲットは、Al2O3とZnO、およびGa2O3とZnOを混合したAZOやGZOの焼結体ターゲットが用いられている。これらを粉体のままターゲットとして使用すれば、固体ターゲットの約1000分の1までコストを削減できる。そこで本研究では、Al2O3とZnO、およびGa2O3とZnOの粉体を混合して作製した混合粉体ターゲットを用いて、スパッタリング法による AZOやGZO薄膜の作製を行い、電気的・光学的特性の測定を行った。

原稿種別: 日本語

PDFファイルサイズ: 321 Kバイト