硫化銀薄膜を用いたフレキシブル光導電センサ

カテゴリ: 全国大会

論文No: 2-099

グループ名: 【全国大会】平成31年電気学会全国大会論文集

発行日: 2019/03/01

タイトル(英語): Flexible Photoconductive Sensor Using Silver Sulfide Thin Film

著者名: 海老澤 瑞枝(東京都立産業技術研究センター),磯田 和貴(東京都立産業技術研究センター),平 健吾(東京都立産業技術研究センター)

著者名(英語): Mizue Ebisawa(Tokyo Metropolitan Industrial Technology Research Institute),Kazutaka Isoda(Tokyo Metropolitan Industrial Technology Research Institute),Kengo Taira(Tokyo Metropolitan Industrial Technology Research Institute)

キーワード: 光センサ,光導電,硫化銀,フレキシブル

要約(日本語): 従来の光電特性をもつ無機材料の多くは，高温・真空プロセスによる成膜を必要とするのに対して，本研究では常温・常圧での湿式成膜が可能な硫化銀薄膜の光導電性に注目した．フレキシブルなPET基板に約50nmの硫化銀を成膜し，バイアス電圧5Vを印加しながら，可視光(白色LED)に対する光導電特性を測定した．電気伝導率は，照射光強度に対して線形に変化することを確認した．光導電特性は膜質によって異なり，特にパルス光を照射した場合，センサ部の硫化度合によって異なる過渡応答を示すことが分かった．以上より，硫化銀薄膜の可視光に対する光導電性を確認し，湿式プロセスによるフレキシブル光導電センサの可能性を示した．

原稿種別: 日本語

PDFファイルサイズ: 210 Kバイト