極低周波微小磁界変動に対する磁気シールド材料の評価法

カテゴリ: 全国大会

論文No: 2-107

グループ名: 【全国大会】平成31年電気学会全国大会論文集

発行日: 2019/03/01

タイトル(英語): Method for evaluation of magnetic shielding material against very low frequency micro magnetic field fluctuation

著者名: 榊原 満(オータマ),武藤 暁(オータマ),奥田 学(オータマ)

著者名(英語): Mitsuru Sakakibara(Ohtama),Satoru Mutou(Ohtama),Manabu Okuda(Ohtama)

キーワード: パーマロイ,磁気特性,透磁率,インピーダンス透磁率

要約(日本語): 近年、半導体デバイス製造や、研究開発、医療などの先端分野において、高度な磁気シールドが求められるようになってきている。特に極低周波微小磁界変動への対応が求められ、用いる材料の性能評価段階で検証することが重要である。本研究では、一般のBHアナライザーで計測が困難な極低周波微小領域の特性を計測するため、増分透磁率の計測評価システムを提案し、実際の計測事例にて材料の優劣が明確に判断できることを示す。

原稿種別: 日本語

PDFファイルサイズ: 756 Kバイト