磁歪膜を用いた振動センサの高感度化

カテゴリ: 全国大会

論文No: 2-141

グループ名: 【全国大会】平成31年電気学会全国大会論文集

発行日: 2019/03/01

タイトル(英語): Sensitivity Improvement of Vibration Sensors with Magnetostrictive Films

著者名: 曽良 大輔(東北大学),久保 結人(東北大学),荒井 薫(東北大学),枦 修一郎(東北大学),石山 和志(東北大学)

著者名(英語): Daisuke Sora(Tohoku University),Yuito Kubo(Tohoku University),Kaoru Arai(Tohoku University),Shuichiro Hashi(Tohoku University),Kazushi Ishiyama(Tohoku University)

キーワード: 歪みセンサ,振動センサ,逆磁歪効果,並列共振回路

要約(日本語): 我々は逆磁歪効果を用いた歪センサを、振動センサとして応用する研究を行ってきた。先行研究において作製したセンサは、機械的共振周波数以下の帯域での微少振動検出が困難であった。本研究ではセンサの更なる高感度化のため、並列共振回路を適用する検討を行った。1ターンミアンダ形状Mo膜導体層を短冊状FeSiB膜磁性層で上下から挟んだ積層構造センサにコンデンサとコイルを接続することで並列共振回路を構成し、応答出力の向上を図った。その結果、静特性測定において位相差出力が2deg.から64deg.に増大し、検出信号が大幅に増大したことにより動特性において機械的共振周波数85Hz以下の帯域で加速度0.01m/s²の微少振動の検出が可能となった。

原稿種別: 日本語

PDFファイルサイズ: 351 Kバイト