SnO2薄膜を感応膜としたEIS構造キャパシタの溶存酸素応答

カテゴリ: 全国大会

論文No: 3-156

グループ名: 【全国大会】平成31年電気学会全国大会論文集

発行日: 2019/03/01

タイトル：SnO₂薄膜を感応膜としたEIS構造キャパシタの溶存酸素応答

タイトル(英語): Response to Dissolved Oxygen of EIS Structured Capacitor with SnO₂ Membrane as Sensitive Layer

著者名: 杉原 勇也(豊橋技術科学大学),Sylvia Mei Lin Loo(豊橋技術科学大学),飛沢 健(豊橋技術科学大学),岩田 達哉(豊橋技術科学大学),村上 健介(豊橋技術科学大学),高橋 一浩(豊橋技術科学大学),野田 俊彦(豊橋技術科学大学),澤田 和明(豊橋技術科学大学)

著者名(英語): Yuya Sugihara Sylvia Mei(Toyohashi University of Technology),Lin Loo(Toyohashi University of Technology),Takeshi Hizawa(Toyohashi University of Technology),Tatsuya Iwata(Toyohashi University of Technology),Kensuke Murakami(Toyohashi University of Technology),kazuhiro Takahashi(Toyohashi University of Technology),Toshihiko Noda(Toyohashi University of Technology),Kazuaki Sawada(Toyohashi University of Technology)

キーワード: バイオセンサ,水素イオン,溶存酸素,酸化スズ

要約(日本語): 神経活動や生体エネルギーの生成には酸素が必要不可欠であり、イオンやその他の化学物質を同時に可視化することで様々な未知の事象を理解することができると考えられる。空気中にある酸素分子の吸着現象を利用した酸化物半導体方式ガスセンサは多く報告されているが、液体中の薄膜特性についての報告は少ない。ガスセンサの薄膜が液体中の酸素分子と吸着し、溶存酸素感応膜となれば、イオンイメージセンサの画素上に薄膜を成膜することでイオンとガスの反応領域を同時に観察するマルチモーダルイメージングが可能になる。本研究では、イオンイメージセンサの基本構造であるEIS構造キャパシタにおけるSnO₂薄膜の溶存酸素応答について検討した。

原稿種別: 日本語

PDFファイルサイズ: 275 Kバイト