400 kHz型空中超音波マイクロアレイセンサの開発

カテゴリ: 全国大会

論文No: 3-171

グループ名: 【全国大会】平成31年電気学会全国大会論文集

発行日: 2019/03/01

タイトル(英語): Development of Micro Array Sensor for aerial ultrasonic of 400 kHz

著者名: 田中 恒久(大阪産業技術研究所),中山 健吾(大阪産業技術研究所),村上 修一(大阪産業技術研究所)

著者名(英語): Tsunehisa Tanaka(Osaka Research Institute of Industrial Science and Technology),Kengo Nakayama(Osaka Research Institute of Industrial Science and Technology),Shuichi Murakami(Osaka Research Institute of Industrial Science and Technology)

キーワード: 超音波センサ,センサ,アレイ

要約(日本語): 空中超音波を用いた非破壊検査では，主に400～800 kHzの高周波数の超音波が用いられるため，400 kHz型空中超音波マイクロアレイセンサの開発を行った。試作の結果，共振周波数が設計どおりに400 kHz付近に揃っており，出力電圧のばらつきが少なことが解った。本400 kHz型空中超音波マイクロアレイセンサは，非破壊検査装置への適用が可能であると考えられる。

原稿種別: 日本語

PDFファイルサイズ: 275 Kバイト