小型光散乱式粒子センサーのダブルミラー構造の検出効率に関するシミュレーション評価

カテゴリ: 全国大会

論文No: 3-174

グループ名: 【全国大会】平成31年電気学会全国大会論文集

発行日: 2019/03/01

タイトル(英語): Simulation evaluation of light collection efficiency of a compact sized light-scattering-type sensor with a double-side mirror structure

著者名: 中井 賢也(三菱電機),榎 望(三菱電機),中原 彰太(三菱電機),藤原 卓(三菱電機),島田 昌明(三菱電機),竹下 伸夫(三菱電機)

著者名(英語): Kenya Nakai(Mitsubishi Electric Corporation),Nozomi Enoki(Mitsubishi Electric Corporation),Shota Nakahara(Mitsubishi Electric Corporation),Takashi Fujiwara(Mitsubishi Electric Corporation),Masaaki Shimada(Mitsubishi Electric Corporation),Nobuo Takeshita(Mitsubishi Electric Corporation)

キーワード: 粒子状物質,微粒子,光散乱,非球面ミラー,受光素子

要約(日本語): 大気中のPM2.5濃度を高精度に測定する小型の光散乱方式の粒子センサーを開発している。本センサーは、対向する2枚の非球面ミラーで構成したダブルミラー構造を採用し、立体角2.4πの範囲で粒子散乱光を検出し高効率化を図っている。本発表では、ダブルミラー構造による検出光学系について、光学シミュレーションモデルを構築し、これにより本センサーの検出特性について評価を実施した。本シミュレーションモデルでは、照射光ビームのパワー密度分布、ミー散乱光強度分布を考慮し、粒子散乱光の検出効率特性及びセンサーの実効的な検出領域について評価した内容を述べる。

原稿種別: 日本語

PDFファイルサイズ: 924 Kバイト