流路構造付きMEMS流量センサの開発

カテゴリ: 全国大会

論文No: 3-175

グループ名: 【全国大会】平成31年電気学会全国大会論文集

発行日: 2019/03/01

タイトル(英語): Development of MEMS Flow Sensor having flow channel based on Copper on Polyimide Film

著者名: 瀧川 流成(広島市立大学),長谷川 義大(広島市立大学),谷口 和弘(広島市立大学),式田 光宏(広島市立大学),松島 充代子(名古屋大学),川部 勤(名古屋大学)

著者名(英語): Ryusei Takigawa(Hiroshima City University),Yoshihiro Hasegawa(Hiroshima City University),Kazuhiro Taniguchi(Hiroshima City University),Mitsuhiro Shikida(Hiroshima City University),Miyoko Matsushima(Nagoya University),Tsutomu Kawabe(Nagoya University)

キーワード: 流量センサ,流路構造付流量センサ,銅張積層板

要約(日本語): MEMS技術によってセンサの小型化が進んだことで，従来では不可能であった微小領域での計測が可能となった一方で，微細配線を有するセンサ素子部から外部への配線取出しを行う実装工程は煩雑さを増している．本課題を克服することを目指し，当研究室では，基板材料として銅張積層板を用いた，センサ素子と微細配線とを自動的に一括形成するセンサ構造・作製方法を提案している．本研究では更なる実装工程（配管への流量センサ実装工程）の簡素化を目的とし，銅張積層板の一部を塑性変形させ，センサと同一基板上に流路構造をも形成するという「流路構造付きMEMS流量センサ」の実現を目指した．

原稿種別: 日本語

PDFファイルサイズ: 285 Kバイト