誘電泳動集積法を用いたFET型カーボンナノチューブガスセンサの作製とNO2検出

カテゴリ: 全国大会

論文No: 3-191

グループ名: 【全国大会】平成31年電気学会全国大会論文集

発行日: 2019/03/01

タイトル(英語): Detection of NO2 by field effect transistor carbon nanotube gas sensor using dielectrophoresis

著者名: 行部 晃生(九州大学),尾崎 圭佑(九州大学),中野 道彦(九州大学),末廣 純也(九州大学)

著者名(英語): Kosei Gyobu(Kyushu University),Keisuke Ozaki(Kyushu University),Michihiko Nakano(Kyushu University),Junya Suehiro(Kyushu University)

キーワード: 電界効果トランジスタ,カーボンナノチューブ,ガスセンサ

要約(日本語): 本研究の目的は誘電泳動集積法を用いたFET型CNTガスセンサの作製とそのセンサを用いたNO2応答の取得である。Si基板上にスパッタリング、フォトリソグラフィとエッチングによりCr電極を作製した。Si基板背面はフッ酸により酸化膜を除去した。誘電泳動集積法により純度99.9%の半導体CNTを電極間に集積した。作製したガスセンサをチャンバ内に設置しN2中でゲート電圧-ドレイン電流測定をした。次に、チャンバ内にN2100秒間供給し、その後NO2 20ppm を300秒供給し、この時の時間-ドレイン電流測定をした。作製したCNT-FETのオンオフ比は約7.2倍であり、閾値は5V付近で確認された。規格化応答は閾値にほぼ近いゲート電圧Vg=5Vの時最大となり、約27であった。このFET型センサの応答は抵抗型に比べて約1.9倍であった。

原稿種別: 日本語

PDFファイルサイズ: 288 Kバイト