誘電泳動集積法により作製したSnO2ナノ粒子修飾カーボンナノチューブガスセンサのNO2検出に及ぼすSnO2修飾量の影響

カテゴリ: 全国大会

論文No: 3-192

グループ名: 【全国大会】平成31年電気学会全国大会論文集

発行日: 2019/03/01

タイトル：誘電泳動集積法により作製したSnO₂ナノ粒子修飾カーボンナノチューブガスセンサのNO₂検出に及ぼすSnO₂修飾量の影響

タイトル(英語): The effect of the amount of SnO₂ on the NO₂ sensing property of CNT-SnO₂ sensor fabricated by the dielectrophoresis.

著者名: 河野 雅紀(九州大学),小田 士剛(九州大学),中野 道彦(九州大学),末廣 純也(九州大学)

著者名(英語): Masaki Kono(Kyushu University),Takenori Oda(Kyushu University),Michihiko Nakano(Kyushu University),Junya Suehiro(Kyushu University)

キーワード: ガスセンサ,誘電泳動,酸化スズ,カーボンナノチューブ,二酸化窒素,室温

要約(日本語): 著者らは、これまでナノマテリアルを誘電泳動力によってマイクロ電極上に集積するセンサ作製法を開発し、同集積法で作製したCNT/SnO₂センサによってNO₂を検出した。同センサの応答はp型半導体であるCNTとn型半導体であるSnO₂の間に形成されるpn接合を利用しているため、著者らはこれら2つの材料が形成するネットワーク構造が応答特性に影響を与えると考え、本研究ではCNTとSnO₂の材料比を変えてセンサを作製し、そのネットワーク構造とNO₂応答特性を調査した。3つの材料比で作製したセンサはそれぞれ空気希釈NO₂に対して抵抗が上昇する応答を示し、SnO₂の量を増やすことで応答量は向上したが、さらに増やすと応答は減少した。

原稿種別: 日本語

PDFファイルサイズ: 329 Kバイト