白金微粒子を坦持した酸化チタンナノチューブ薄膜を用いた高感度ガスセンサ

カテゴリ: 全国大会

論文No: 3-193

グループ名: 【全国大会】平成31年電気学会全国大会論文集

発行日: 2019/03/01

タイトル(英語): Highly sensitive gas sensor using titanium dioxide nanotube thin film decorated with platinum fine particles

著者名: 阿部 宏之(宮城県産業技術総合センター),馬 騰(東北大学),但木 大介(東北大学),平野 愛弓(東北大学),木村 康男(東京工科大学),庭野 道夫(東北福祉大学)

著者名(英語): Hiroyuki Abe(Industrial Technology Institute, Miyagi Prefectural Government),Teng Ma(Tohoku University),Daisuke Tadaki(Tohoku University),Ayumi Hirano-Iwata(Tohoku University),Yasuo Kimura(Tokyo University of Technology),Michio Niwano(Tohoku Fukushi University)

キーワード: 酸化チタンナノチューブ,ガスセンサ,原子層堆積法,白金微粒子,触媒,陽極酸化

要約(日本語): 我々は，これまで，チタン薄膜を局所的に陽極酸化することによりチタン電極間の微小領域にガス感応部である酸化チタンナノチューブ薄膜を形成した微小ガスセンサを作製し，その性能を報告してきた。本研究では，酸化チタンナノチューブ薄膜を用いたガスセンサの感度向上と応答時間，回復時間短縮を実現するため，原子層堆積法によって，酸化チタンナノチューブ薄膜の表面及びナノチューブ内壁の上面から底面までの全体に触媒となる白金微粒子を一様に坦持した。その結果，一酸化炭素ガスに対して，感度が約一桁向上し，応答時間が約1/10に短縮した。

原稿種別: 日本語

PDFファイルサイズ: 332 Kバイト