周波数逓倍MHz出力インバータにおけるマルチコアトランスの二次巻線電圧に関する検討

カテゴリ: 全国大会

論文No: 4-075

グループ名: 【全国大会】平成31年電気学会全国大会論文集

発行日: 2019/03/01

タイトル(英語): Study of Secondary Winding Voltage in Multi-Core Transformer for MHz Inverter using Frequency Multiplying

著者名: 折川 幸司(北海道大学),小笠原 悟司(北海道大学),竹本 真紹(北海道大学),伊東 淳一(長岡技術科学大学)

著者名(英語): Koji Orikawa(Hokkaido University),Satoshi Ogasawara(Hokkaido University),Masatsugu Takemoto(Hokkaido University),Jun-ichi Itoh(Nagaoka University of Technology)

キーワード: 周波数逓倍,マルチコアトランス,二次巻線電圧

要約(日本語): 著者らはこれまでに半導体製造用高周波電源として周波数逓倍に基づくMHz出力インバータを提案している。本論文では，従来のハーフブリッジインバータによるMHz出力インバータにおけるトランスと提案回路に使用するマルチコアトランスの二次巻線電圧に関して検討する。検討の結果，二次側巻線間の絶縁確保が従来回路に対して容易であることを確認した。

原稿種別: 日本語

PDFファイルサイズ: 256 Kバイト