誘電泳動集積した半導体ナノ材料のCF4ガスセンサへの応用

カテゴリ: 全国大会

論文No: 6-045

グループ名: 【全国大会】平成31年電気学会全国大会論文集

発行日: 2019/03/01

タイトル：誘電泳動集積した半導体ナノ材料のCF₄ガスセンサへの応用

タイトル(英語): Application of semiconducting nanomaterials on CF₄ gas sensor

著者名: 前之園 大地(九州大学),古本 匠(九州大学),Nisarut Phansiri(九州大学),中野 道彦(九州大学),末廣 純也(九州大学),里 秀文(九州電力)

著者名(英語): Maenosono Daichi(Kyushu University),Furumoto Takumi(Kyushu University),Phansiri Nisarut(Kyushu University),Nakano Michihiko(Kyushu University),Suehiro Junya(Kyushu University),Sato Hidefumi(Kyushu Electric Power Co., Inc.)

キーワード: SF6分解ガス,ガスセンサ,ガス絶縁開閉装置,設備診断,ナノ材料,誘電泳動

要約(日本語): ガス絶縁開閉装置（GIS）内部には絶縁、消弧性能に優れたSF₆が封入されており、これは部分放電や過熱などの内部異常により分解される。SF₆分解に由来するガス成分のほとんどはSF₆の純度を保つために設置された吸着剤に吸着される。しかし、ガス成分の1種であるCF₄は吸着されにくい性質を有するためSF₆と混在する。そこで、このCF₄ガス濃度を測定することで設備診断が可能である。本研究では、CF₄検出を目的として、酸化すず(SnO₂）ナノ粒子、酸化亜鉛(ZnO)ナノワイヤ、カーボンナノチューブ(CNT)をそれぞれ誘電泳動集積法により電極上に集積したセンサを作製し、CF₄検出を試みた。その結果、SnO₂を用いたセンサが最も高い感度を示した。

原稿種別: 日本語

PDFファイルサイズ: 320 Kバイト