コロナ帯電電位測定による樹脂薄膜の膜厚と絶縁性の評価

カテゴリ: 全国大会

論文No: 1-043

グループ名: 【全国大会】令和2年電気学会全国大会論文集

発行日: 2020/03/01

タイトル(英語): Evaluation of thickness and insulating property for resin thin film due to a corona charging potential measurement

著者名: 大友涼（山形大学）,杉本俊之（山形大学）,松井弘之（山形大学）

著者名(英語): Ryo Otomo (Yamagata University),Toshiyuki Sugimoto (Yamagata University),Hiroyuki Matsui (Yamagata University)

キーワード: パリレンコーテイング|表面電位|コロナ帯電|膜厚|絶縁性|薄膜|パリレンコーテイング|ヒョウメンデンイ|コロナタイデン|マクアツ|ゼツエンセイ|ハクマク

要約(日本語): 導体材料上に塗布された塗膜の絶縁性を評価する手法として，コロナ帯電電位測定法がある。これは，帯電電位の減衰特性から塗膜の硬化度や劣化度等を推定するものであるが，電位の大きさから膜厚の測定も原理的に可能であることがわかっている。本研究では本方式による膜厚の測定精度を明らかにするため、数十~数百nmのパリレン薄膜の表面電位測定を行った。帯電電位の大きさeと膜厚dの関係を等価回路から求めると次式が導かれる。e=A/(1+B/d) （AとBは塗膜の体積抵抗率で決まる定数）パリレンのように十分に絶縁性の高い材料では，5μm以下の薄膜であっても十分な測定感度を持つことが分かった。今後は，絶縁性の低い他の樹脂材料に対する検討を行う。

本誌掲載ページ: 55-56 p

原稿種別: 日本語