RF電界・直流磁界下のCF4中電子ドリフト速度ベクトル軌跡

カテゴリ: 全国大会

論文No: 1-063

グループ名: 【全国大会】令和2年電気学会全国大会論文集

発行日: 2020/03/01

タイトル(英語): Loci of electron drift velocity vector in CF4 gas under RF electric and DC magnetic fields

著者名: 中田裕也（北海道大学）,佐藤壮（北海道大学）,菅原広剛（北海道大学）

著者名(英語): Yuya Nakata (Hokkaido University),Takeshi Sato (Hokkaido University),Hirotake Sugawara (Hokkaido University)

キーワード: 磁化プラズマ|モンテカルロシミュレーション|ドリフト速度|衝突周波数|電子衝突断面積|ジカプラズマ|ドリフトソクド|ショウトツシュウハスウ|デンシショウトツダンメンセキ

要約(日本語): RF電界直流磁界下で駆動し材料プロセスに用いられる誘導結合磁化プラズマは磁界による電子閉じ込め効果や材料損傷低減が期待される。ArとF2中の電子平均速度ベクトルWは同電磁界下では楕円軌跡を描くことが既報で確認され、このことは一定衝突周波数（CCF）モデル近似理論式でも示された。本稿では電磁界下の電子輸送特性を議論するため、CF4中のWの周期応答特性を解析、電界を一定にしたときの磁界強度依存性をガスの電子衝突断面積構成に基づき検討し、CCFモデルとのずれの観点からF2と比較した。F2中のWがCCFモデルの楕円軌跡とよく一致するのに対し、CF4中のWの軌跡は内側へずれることがその特徴として現れた。

本誌掲載ページ: 80-81 p

原稿種別: 日本語