エキシマレーザにおける予備電離用コロナ放電の電界強度依存性

カテゴリ: 全国大会

論文No: 1-067

グループ名: 【全国大会】令和2年電気学会全国大会論文集

発行日: 2020/03/01

タイトル(英語): Electric field strength dependence of pre-ionization corona discharge in excimer laser.

著者名: 永井一喜（ギガフォトン）,竹中怜（ギガフォトン）,佐々木陽一（ギガフォトン）,柿崎弘司（ギガフォトン）

著者名(英語): Kazuki Nagai (Gigaphoton INC.),Rei Takenaka (Gigaphoton INC.),Youichi Sasaki (Gigaphoton INC.),Kouji Kakizaki (Gigaphoton INC.)

キーワード: エキシマレーザ|コロナ放電発光|誘電体バリア|エキシマレーザ|コロナホウデンハッコウ|ユウデンタイバリア

要約(日本語): 半導体リソグラフィ用光源としてのエキシマレーザには，出力エネルギーなどの安定性に厳しい要求がなされている。これらの安定性はレーザ励起放電の安定性と深い関係がある。リソグラフィの要求仕様を満足するレーザ性能を得るためには多くの均一な初期電子密度が必要である。リソグラフィ用エキシマレーザでは，励起放電前にコロナ放電の光を励起放電空間に照射することで初期電子密度を確保する予備電離が必須である。コロナ放電の発生には高強度で空間的均一性に優れる誘電体バリア方式が採用されている。我々は誘電体バリア構造に起因する電界強度とコロナ発光強度の関係に着目し、放電観察を通して両者の関係性を調べたので発表する。

本誌掲載ページ: 85-86 p

原稿種別: 日本語