レーザ誘起ブレイクダウン分光法(LIBS)を用いたTi元素の粒子組成分析

カテゴリ: 全国大会

論文No: 1-069

グループ名: 【全国大会】令和2年電気学会全国大会論文集

発行日: 2020/03/01

タイトル(英語): Particle composition analysis of Ti element using laser induced breakdown spectroscopy(LIBS)

著者名: 紙井大輝（金沢大学）,上杉喜彦（金沢大学）,田中康規（金沢大学）,石島達夫（金沢大学）,中野裕介（金沢大学）

著者名(英語): Hiroki Kamii (Kanazawa University),Yoshihiko Uesugi (Kanazawa University),Yasunori Tanaka (Kanazawa University),Tatuso Ishijima (Kanazawa University),Yuusuke Nakano (Kanazawa University)

キーワード: プラズマ|粒子組成分析|レーザー|プラズマ|リュウシソセイブンセキ|レーザー

要約(日本語): レーザ誘起ブレイクダウン分光法(Laser-Induced Breakdown Spectroscopy, LIBS)とは，レーザーアブレーションにより生成されるプラズマプルームの発光を観測することによりターゲット材の組成分析を行う方法である．CF-LIBS法による組成分析では，元素の中性種およびイオン化種を考慮する必要がある．そのため，温度と電離度の関係を明らかにすることは，CF-LIBS法による組成分析において重要である．そこで，LIBS実験および計算によりTi元素の粒子組成の温度依存性を取得し，結果の比較を行った．粒子組成の計算では，系のGibbsの全自由エネルギGを最小化させることで，各原子，分子，ラジカルの数密度を計算した．

本誌掲載ページ: 88-89 p

原稿種別: 日本語