大気圧グロー放電用ダブルプローブ計測システムの開発

カテゴリ: 全国大会

論文No: 1-071

グループ名: 【全国大会】令和2年電気学会全国大会論文集

発行日: 2020/03/01

タイトル(英語): Development of Double Probe Measurement System for Atmospheric Pressure Glow Discharges

著者名: 石橋凌（近畿大学）,大石亮（近畿大学）,牟田浩司（近畿大学）

著者名(英語): Ryo Ishibashi (Kinki University Graduate School),Ryo Oishi (Kinki University Graduate School),Hiroshi Muta (Kinki University Graduate School)

キーワード: 大気圧グロー放電|ダブルプローブ法|流体モデル|タイキアツグローホウデン|ダブルプローブホウ|リュウタイモデル

要約(日本語): 大気圧グロー放電は真空装置無しに非平衡低温プラズマを生成できる方式であり、材料表面の高速処理や滅菌、さらには医療や農業の分野への応用が拡大している。これらの分野においてプラズマを最適化するには、電子温度や電子密度といったプラズマの基本的なパラメータを実時間に測定する計測システムが不可欠である。従来減圧したプラズマでの計測に多用されていた静電プローブ法をそのまま大気圧領域で適用することは通常困難である。そこで本研究では、荷電粒子と中性粒子の衝突を適切に考慮することで、測定を可能とする計測システムの構築を行う。具体的には、プローブに生じる衝突シースを詳細に数値解析し、測定値とフィッティングすることでプラズマパラメータを決定する。

本誌掲載ページ: 90-91 p

原稿種別: 日本語