両極性パルス加速器開発に向けたパルスイオンビームのエネルギー評価

カテゴリ: 全国大会

論文No: 1-105

グループ名: 【全国大会】令和2年電気学会全国大会論文集

発行日: 2020/03/01

タイトル(英語): Energy analysis of pulsed ion beam in bipolar pulse accelerator

著者名: 石田治康（富山大学）,寺田匡志（富山大学）,伊藤弘昭（富山大学）

著者名(英語): Haruyasu Ishida (University of Toyama),Masashi Terada (University of Toyama),Hiroaki Itou (University of Toyama)

キーワード: パルスパワー|加速器|イオンビーム|パルスパワー|カソクキ|イオンビーム

要約(日本語): パルス重イオンビームは炭化ケイ素などの次世代半導体材料に向けた新しいプロセス技術として期待されている。この技術の実現に向け、多様なイオン種のビーム発生とイオンビームの高純度化がパルス重イオンビーム技術には必要である。本研究では、ビームの純度向上を目指し、これまでのパルス重イオンビーム技術に両極性パルス電源を融合させた両極性パルス加速器（Bipolar Pulse Accelerator：BPA）の開発を行ってきた。本発表では、パルス重イオンビームをトムソンパラボラ分析器で評価することで両極性パルス加速器の検証を行ったので報告する。

本誌掲載ページ: 129-130 p

原稿種別: 日本語