大気圧炭化水素パルスプラズマにおける電極への入射イオンエネルギーに及ぼす繰り返し周波数依存性の解析

カテゴリ: 全国大会

論文No: 1-107

グループ名: 【全国大会】令和2年電気学会全国大会論文集

発行日: 2020/03/01

タイトル(英語): Numerical Analysis of Influence of Repetition Frequency of Ion Energy Incident onto Electrode in Atmospheric-Pressure Pulsed Hydrocarbon Plasmas

著者名: 小嶋正宏（千葉工業大学）,木村勇太（千葉工業大学）,小田昭紀（千葉工業大学）,太田貴之（名城大学）,上坂裕之（岐阜大学）

著者名(英語): Masahiro Kojima (Chiba Institute of Technology),Yuta Kimura (Chiba Institute of Technology),Akinori Oda (Chiba Institute of Technology),Takayuki Ohta (Meijo University),Hiroyuki Kousaka (Gifu University)

キーワード: 大気圧プラズマ|炭化水素プラズマ|パルスプラズマ|大気圧プラズマCVD|ダイヤモンドライクカーボン|タイキアツプラズマ|タンカスイソプラズマ|パルスプラズマ|タイキアツプラズマシーブイディー|ダイヤモンドライクカーボン

要約(日本語): 最近，ダイヤモンドライクカーボン（DLC）膜を成膜する方法の一つとして，大気圧プラズマCVD法が注目されている．本方法は，成膜速度や設備コストなどの点で優れている．しかし，低圧下で成膜された膜に比べ低硬度になることや熱プラズマに遷移しやすいなどの課題が存在するため，これら問題の解決が望まれている．このような中，印加電圧のパルス化が注目されており，実際に高硬度なDLC成膜が達成できたことが報告されている．本報告では，大気圧炭化水素（He希釈CH₄）パルスプラズマにおけるパルス電圧の繰り返し周波数が電極に入射するイオンの入射量およびエネルギーに及ぼす影響について解析を行ったので，その結果について報告する．

本誌掲載ページ: 131-132 p

原稿種別: 日本語