準大気圧直流ヘリウムアーク放電プラズマ生成と特性評価（II）

カテゴリ: 全国大会

論文No: 1-117

グループ名: 【全国大会】令和2年電気学会全国大会論文集

発行日: 2020/03/01

タイトル(英語): Generation and characterization of a DC helium arc discharge plasma under sub-atmospheric pressure (II)

著者名: 門脇和正（兵庫県立大学）,菊池祐介（兵庫県立大学）,青田達也（ユメックス）,前中志郎（ユメックス）,藤田和宜（ユメックス）,高村秀一（愛知工業大学/ユメックス）

著者名(英語): Kazumasa Kadowaki (University of Hyogo),Yusuke Kikuchi (University of Hyogo),Tatsuya Aota (Yumex Inc),Shiro Maenaka (Yumex Inc),Kazunori Fujita (Yumex Inc),Shuichi Takamura (Aichi Institute of Technology/Yumex Inc)

キーワード: 直流アーク放電|準大気圧プラズマ|繊維状ナノ構造|チョクリュウアークホウデン|ジュンタイキアツプラズマ|センイジョウナノコウゾウ

要約(日本語): タングステン（W）にヘリウム（He）プラズマを照射すると，W表面に繊維状ナノ構造が形成される。我々は準大気圧下の高密度Heアーク放電プラズマを用いて，繊維状ナノ構造を高速形成する技術を開発している。当初，ロングアーク生成が比較的容易な交流電源を用いていたが，プラズマパラメータが時間的に変動するため，結果の理解を困難なものとしていた。そこで，初期放電用の高電圧パルス電源と定常放電用の高速電力増幅器を組み合わせた放電回路を構築した。本稿では定常放電用電源を増強し，電極間距離35 mm，ガス圧力80 kPa，放電電圧108 V，電流16 Aの直流Heアーク放電を生成した結果を中心に報告する。

本誌掲載ページ: 141-142 p

原稿種別: 日本語