表面改質の大面積化に向けたレーストラック型誘導熱プラズマ装置の開発

カテゴリ: 全国大会

論文No: 1-121

グループ名: 【全国大会】令和2年電気学会全国大会論文集

発行日: 2020/03/01

タイトル(英語): Development of Race-Track Type Inductively Coupled Thermal Plasma for Large Area Processes of Surface Modification

著者名: 大関元紀（金沢大学）,杉山祐樹（金沢大学）,田中康規（金沢大学）,中野裕介（金沢大学）,上杉喜彦（金沢大学）,石島達夫（金沢大学）,幸本徹哉（シー・ヴィ・リサーチ）,川浦廣（シー・ヴィ・リサーチ）

著者名(英語): Genki Ozeki (Kanazawa University),Yuki Sugiyama (Kanazawa University),Yasunori Tanaka (Kanazawa University),Yusuke Nakano (Kanazawa University),Yoshihiko Uesugi (Kanazawa University),Tatsuo Ishijima (Kanazawa University),Tetsuya Yukimoto (CV Research Corporation),Hiroshi Kawaura (CV Research Corporation)

要約(日本語): 筆者らはこれまでに，熱プラズマによる材料の大面積処理を目的として，ループ型誘導熱プラズマ(loop-ICTP) 装置を開発してきた。ループ型誘導熱プラズマは，ループ型石英容器を円型コイルで挟み込み，ループ面に垂直に高周波の交番磁界を印加して，プラズマを維持するものである。このループ型誘導熱プラズマ(ICTP) をさらなる大面積での表面改質に適用するためには，プラズマの安定性および一様性を向上させることが挙げられる。この目的のために，筆者らはレーストラック型トーチを新たに開発した。本検討では，開発したレーストラック型ICTP のプラズマ維持試験を行い，生成したAr プラズマおよびAr/N2 プラズマの安定性の検証をした。

本誌掲載ページ: 145-146 p

原稿種別: 日本語