マイクロ波励起大気圧プラズマジェットによる酸化イットリウムの製膜法の開発

カテゴリ: 全国大会

論文No: 1-125

グループ名: 【全国大会】令和2年電気学会全国大会論文集

発行日: 2020/03/01

タイトル(英語): Development of Oxide Yttrium Deposition Method using Microwave Excited Atmospheric Pressure Plasma Jet

著者名: 田中島優（金沢大学）,石島達夫（金沢大学）,田中康規（金沢大学）,上杉喜彦（金沢大学）,中野裕介（金沢大学）,當麻哲也（金沢大学）,大道拓人（金沢大学）

著者名(英語): Yu Tanakajima (Kanazawa University),Tatuo Ishijima (Kanazawa University),Yasunori Tanaka (Kanazawa University),Yoshihiko Uesugi (Kanazawa University),Yusuke Nakano (Kanazawa University),Testuya Taima (Kanazawa University),Takuto Omichi (Kanazawa University)

キーワード: プラズマジェット|大気圧非平衡プラズマ|マイクロ波プラズマ|酸化イットリウム|プラズマジェット|タイキアツヒヘイコウプラズマ|マイクロハプラズマ|サンカイットリウム

要約(日本語): 現在，半導体製造装置内壁のコーティング材料として耐腐食性，耐プラズマ性に優れた酸化イットリウム(Y2O3)が注目されている。本研究ではマイクロ波励起大気圧プラズマジェット(MW-APPJ)を用いた新規Y2O3製膜法の開発を目指す。Y2O3含有の前駆体材料を気化させ，プラズマ生成用のArガスに導入した。気化した前駆体をプラズマジェットと作用させ，基板に吹き付けることで製膜する手法を検討した。石英ガラスに対して製膜実験を行った結果、石英ガラス上に白い結晶が堆積した。堆積膜に対してSEM、XPSを用いて表面の分析を行った。XPS分析結果より石英ガラス上の堆積膜はY-O結合を有していることが分かる。このことはMW-APPJを用いて生成された堆積膜がY2O3であることを示唆している。

本誌掲載ページ: 149-150 p

原稿種別: 日本語