準大気圧高繰り返しナノ秒パルスグロー放電を用いた DLC 成膜（II）

カテゴリ: 全国大会

論文No: 1-126

グループ名: 【全国大会】令和2年電気学会全国大会論文集

発行日: 2020/03/01

タイトル(英語): Preparation of DLC films using a high-repetition nanosecond pulsed glow discharge plasma under sub-atmospheric pressure (II)

著者名: 井岡克也（兵庫県立大学）,菊池祐介（兵庫県立大学）,平野涼（兵庫県立大学）,八束充保（兵庫県立大学）

著者名(英語): Katsuya Ioka (University of Hyogo),Yusuke Kikuchi (University of Hyogo),Ryo Hirano (University of Hyogo),Mitsuyasu Yatsuzuka (University of Hyogo)

キーワード: 準大気圧プラズマ|ダイヤモンドライクカーボン成膜|高繰り返しナノ秒パルスグロー放電|ジュンタイキアツプラズマ|ダイヤモンドライクカーボンセイマク|コウクリカエシナノビョウパルスグローホウデン

要約(日本語): DLCは高硬度，絶縁性などの優れた特性を有し，表面コーティング等に利用されている。従来技術では，低ガス圧プラズマCVD法を用いて成膜が行われているため，成膜レートが低いことが課題となっていることから，準大気圧・大気圧プラズマを用いた高速DLC成膜が期待されている。これまで，ガス圧1.2 kPaの準大気圧領域でDLC成膜を行ったところ，硬度13 GPa，成膜レート0.22 μm/min を得ている。本研究では，成膜メカニズムの解明と膜質の制御を目的とし，プロセスガスの窒素ガス混合率をパラメータとして成膜実験を行った。その結果，窒素ガス混合率の増加に伴い，膜質及び硬度の変化が確認された。

本誌掲載ページ: 150-151 p

原稿種別: 日本語