PZT-MEMSを用いた高分解能圧力波検出センサの開発

カテゴリ: 全国大会

論文No: 2-026

グループ名: 【全国大会】令和2年電気学会全国大会論文集

発行日: 2020/03/01

タイトル(英語): Development of High Positional Resolution Pressure Wave Detection Sensor using PZT-MEMS

著者名: 小林史也（東京都市大学）,小原昌悟（東京都市大学）,三宅弘晃（東京都市大学）,田中康寛（東京都市大学）,神田健介（兵庫県立大学）

著者名(英語): Fumiya Kobayashi (Tokyo City University),Shogo Obara (Tokyo City University),Hiroaki Miyake (Tokyo City University),Yasuhiro Tanaka (Tokyo City University),Kensuke Kanda (University of Hyogo)

キーワード: チタン酸ジルコン酸鉛|高位置分解能|PEA法|チタンサンジルコンサンナマリ|コウイチブンカイノウ|ピーイーエーホウ

要約(日本語): 近年、多くの電気機器が普及し、機器の小型・高性能化により、使用される厚さ数マイクロメートルオーダーの絶縁材料の絶縁性能の評価が望まれている。当研究グループでは薄膜絶縁材料の評価を行うために、測定装置の位置分解能の向上を図ってきた。これまでに、厚さ25 ?m程度の試料の評価を行うことが可能である、位置分解能2.5～3 ?m程度の測定装置の開発に成功した。今回、測定装置のさらなる高位置分解能化に向け、チタン酸ジルコン酸鉛(PZT)を用いた圧力波検出用センサの開発を行った。パルス圧力波入力した際のPZTからの出力信号を計測・評価を行った。試験結果より、パルス圧力による応答性は確認する事が出来た。

本誌掲載ページ: 30-31 p

原稿種別: 日本語