陽子線照射による圧電性を有するフッ素系高分子材料の3次元構造体の形成

カテゴリ: 全国大会

論文No: 2-034

グループ名: 【全国大会】令和2年電気学会全国大会論文集

発行日: 2020/03/01

タイトル(英語): Fabrication of Piezoelectric Three-Dimensional Fluoropolymers by Proton Beam Writing

著者名: 野尻佳孝（芝浦工業大学）,西川宏之（芝浦工業大学）,林秀臣（NPOエコデザイン推進機構）,石井保行（量子科学技術研究開発機構）

著者名(英語): Yoshitaka Nojiri (Sibaura Institute of Technology),Hiroyuki Nishikawa (Sibaura Institute of Technology),Hidetaka Hayashi (NPO Ecodesign Promotion Network),Yasuyuki Ishii (National Institutes for Quantum and Radiological Science and Technology)

キーワード: フッ素系高分子圧電材料|陽子線描画|3次元構造体|フッソケイコウブンシアツデンザイリョウ|ヨウシセンビョウガ|サンジゲンコウゾウタイ

要約(日本語): 近年、ウェアラブルデバイスの需要が高まり、デバイスに組込むセンサは安価で微細、軽量なものが必要とされている。本研究は圧力センサなどに使用される柔軟で動的適応性が優れているPVDF-TrFEを微細で高アスペクト比構造の加工が可能な陽子線描画で3次元構造体に形成し、加工幅および加工深さのエッチング時間および照射量依存性の調査である。加工した結果、加工幅変化はエッチング時間に伴い増加し、加工深さも照射量に伴い増加することおよびエッチング条件によって依存することも明らかになった。今後は加工幅を考慮し作製を行い、それのセンサ応用向けた圧電性評価を行う。

本誌掲載ページ: 38-40 p

原稿種別: 日本語