エポキシ系導電性コンポジットの陽子線描画によるパターニング

カテゴリ: 全国大会

論文No: 2-081

グループ名: 【全国大会】令和2年電気学会全国大会論文集

発行日: 2020/03/01

タイトル(英語): Patterning of epoxy-based conductive nanocomposite by proton beam writing

著者名: 野原悠暉（芝浦工業大学）,林秀臣（エコデザイン推進機構）,西川宏之（芝浦工業大学）

著者名(英語): Yuki Nohara (Shibaura Institute of Technology),hidetaka Hayashi (Ecodesign Promotion Network),Hiroyuki Nishikawa (Shibaura Institute of Technology)

キーワード: コンポジット|微細加工|陽子線描画|コンポジット|ビサイカコウ|ヨウシセンビョウガ

要約(日本語): 近年IoT化に伴い高機能かつ安価なセンサの開発のための微細化技術が求められている。そのために微細加工技術としてコンポジット材料に対する陽子線描画に注目した。本研究の目的は、エポキシ系感光樹脂への導電性付与および、その陽子線描画によるパターニング特性を明らかにすることである。エポキシ系感光性樹脂のSU-8と導電性を有するケッチェンブラックを配合し、それに対しI-V特性を調べることで導電性付与ができていることを確認した。ビームエネルギー1.0MeVの陽子線をビームサイズ1mmおよび1μmに集束し、描画後現像し、最小30μm角のパターニングができた。以上の結果から、導電性を有する微細パターンの直接描画が可能であることが示された。

本誌掲載ページ: 96-97 p

原稿種別: 日本語