半導体基板による磁性薄膜インダクタの鏡像

カテゴリ: 全国大会

論文No: 2-113

グループ名: 【全国大会】令和2年電気学会全国大会論文集

発行日: 2020/03/01

タイトル(英語): Mirror image of magnetic thin film inductor caused by semiconductor substrate

著者名: 原健（リコー電子デバイス）,山口正洋（東北大学）

著者名(英語): Takeshi Hara (RICOH Electronic Devices Co., Ltd.),Masahiro Yamaguchi (Tohoku University)

キーワード: 薄膜インダクタ|インダクタンス|鏡像|フェライト|スプレーコート法|ハクマクインダクタ|インダクタンス|キョウゾウ|フェライト|スプレーコートホウ

要約(日本語): 半導体基板上にスパイラルコイルを置くと、半導体基板の導電性によって不完全な鏡像を生じ、空心インダクタンスが減少する一方で、磁性体によりインダクタンスが増加する効果も重畳すると考えられる。本論文では、片面磁性薄膜インダクタで磁性体の良否を推測する際、これら2要因を総合的に考慮する必要があることを報告する。

本誌掲載ページ: 131-132 p

原稿種別: 日本語