軟磁性薄膜を有するCPW線路を用いた反射型磁気センサ

カテゴリ: 全国大会

論文No: 2-115

グループ名: 【全国大会】令和2年電気学会全国大会論文集

発行日: 2020/03/01

タイトル(英語): Reflection Type Magnetic Sensor Based on Coplanar Waveguide Loaded with Soft Magnetic Thin Film

著者名: 早坂淳一（電磁材料研究所）,菅原和幸（電磁材料研究所）,植竹宏明（電磁材料研究所）,荒井賢一（電磁材料研究所）

著者名(英語): Junichi Hayasaka (Denjiken),Kazuyuki Sugawara (Denjiken),Hiroaki Uetake (Denjiken),Kenichi Arai (Denjiken)

キーワード: 磁気センサ|生体磁気|コプレーナ線路|ジキセンサ|セイタイジキ|コプレーナセンロ

要約(日本語): 心磁図等の生体磁気情報の計測を目的として，マイクロストリップやコプレーナ線路の伝送線路上に軟磁性薄膜を配した高感度な磁気センサが報告されている．これらの磁気センサは，外部磁場に対する伝送特性S21の変化を利用したものであり，センサ部が2ポート構成となっているため，センサヘッドの小型化，アレイ化が困難であった．本稿では1ポート構成によるコプレーナ伝送線路の反射特性を利用した磁気センサシステムの試作，評価結果について報告する．

本誌掲載ページ: 133-134 p

原稿種別: 日本語