人工視覚用ハニカム型-CMOS スマート電極アレイの実装工程の最適化

カテゴリ: 全国大会

論文No: 3-125

グループ名: 【全国大会】令和2年電気学会全国大会論文集

発行日: 2020/03/01

タイトル(英語): Optimization of Fabrication Process of Honeycomb Array CMOS Smart Electrodes for Retinal Prosthesis

著者名: 福成由基（奈良先端科学技術大学院大学）,遠藤広基（奈良先端科学技術大学院大学）,春田牧人（奈良先端科学技術大学院大学）,寺澤靖雄（ニデック）,竹原浩成（奈良先端科学技術大学院大学）,田代洋行（九州大学）,笹川清隆（奈良先端科学技術大学院大学）,太田淳（奈良先端科学技術大学院大学）

著者名(英語): Yuki Fukunari (Nara Institute of Science and Technology),Hiroki Endo (Nara Institute of Science and Technology),Makito Haruta (Nara Institute of Science and Technology),Yasuo Terasawa (NIDEK Co., Ltd.),Hironari Takehara (Nara Institute of Science and Technology),Hiroyuki Tashiro (Kyushu University),Kiyotaka Sasagawa (Nara Institute of Science and Technology),Jun Ohta (Nara Institute of Science and Technology)

キーワード: 人工視覚デバイス|CMOS|ジンコウシカクデバイス|シーモス

要約(日本語): 近年、長期埋植が可能な人工視覚デバイスが求められている。そのため、本研究では生体内で長期埋植が可能なセラミック基板を用いた人工視覚デバイスの開発を行っている。このデバイスは六角形の単位モジュールをアレイ状に配置することで、デバイスが眼球にフィットできるフレキシブルな構造を採用している。今回はセラミック基板を用いた人工視覚用ハニカム型CMOSスマート電極アレイの実装工程の最適化を行った。実装の際にセラミック基板を正確にアレイ状に配置し、薄膜配線によって単位モジュール間を接続する必要がある。そのため、配置方法の改善および配線プロセスを最適化することにより、デバイス実装効率の向上を目指した。

本誌掲載ページ: 184-185 p

原稿種別: 日本語