マイクロ配列電極を用いた局所増感型水晶発振回路式複素容量センサの開発

カテゴリ: 全国大会

論文No: 3-131

グループ名: 【全国大会】令和2年電気学会全国大会論文集

発行日: 2020/03/01

タイトル(英語): Development of Quartz Crystal Oscillator Based Complex Capacitive Sensor with Microelectrode Array for Local Sensitization

著者名: 橋本祐希（新潟大学）,灰野貴晶（新潟大学）,寒川雅之（新潟大学）,安部隆（新潟大学）

著者名(英語): Yuki Hashimoto (Niigata University),Takaaki Haino (Niigata University),Masayuki Sohgawa (Niigata University),Takashi Abe (Niigata University)

キーワード: マイクロ配列電極|局所増感|水晶発振回路|複素容量センサ|マイクロハイレツデンキョク|キョクショゾウカン|スイショウハッシンカイロ|フクソヨウリョウセンサ

要約(日本語): 本研究では、16 MHzの水晶振動子を使用したマイクロ配列電極からなる浮遊電極を平面展開した電極対上に配置し、局所増感と電極上での感度の均一性の向上を図った。駆動電極対の形状はディスクとリングの組み合わせとした。浮遊電極の電極パターンは、マイクロ配列電極があるものとないものを作製した。電極上に純粋を満たした1辺3 mmの正方形のシリコーン製セルを置いた時の周波数応答を様々な電極について評価した。結果、均一性の観点で見ると、マイクロ配列電極を使用した場合の応答値は各セルで近い値となり、均一性が改善した。以上の結果から、マイクロ配列電極からなる浮遊電極を用いることによって局所増感と電極上での感度の均一性の向上が可能となった。

本誌掲載ページ: 190-191 p

原稿種別: 日本語